Strukturieren
Optics Balzers bietet Strukturierungslösungen für qualitativ hochstehende optische Komponenten. Je nach Produkt und Anwendung stehen verschiedene Strukturierungstechniken zur Verfügung, um ein breites Spektrum von Kundenanforderungen hinsichtlich Strukturgrösse und -form zu erfüllen. Die Lift-off Technik ermöglicht die Abscheidung von Filter-Arrays auf Deckgläsern oder direkt auf Photodetektor-Wafern.
Photolithographie (Nassätzen, reaktives Ionenätzen, Lift-Off)
Photolithographiefähigkeiten wie Ätz- und Lift-off-Techniken ermöglichen die Herstellung von hochpräzisen Strukturierten Beschichtungen und Gittern im Submikrometerbereich. Die photolithographischen Techniken werden besonders eingesetzt, um Deckgläser für MEMS-Elemente und CCD/CMOS-Bildsensoren herzustellen.
Laserablation
Laserablation bietet neuartige Möglichkeiten zur Strukturierung von optischen Filterbeschichtungen. Durch die Anwendung angepasster Prozesse für jede spezifische Applikation können auf den beschichteten Komponenten hochpräzise Strukturen erzeugt werden. Laserablation bietet eine ausgezeichnete Flexibilität bei kundenspezifischen Formen und Mustern, zusammen mit schneller Verarbeitung.
Maskierte Beschichtungen
Präzisionsgeätzte, auf den Substraten fixierte Metallmasken erzeugen strukturierte Beschichtungen im Laufe des Beschichtungsprozesses. Während die erzielbare Strukturgrösse und -form bei der direkten Maskierung beschränkt ist, kann die Strukturierung mit beinahe jedem Beschichtungsprozess und Beschichtungsmaterial angewandt werden, einschliesslich bei Prozessen, welche höhere Temperaturen benötigen.
