Jena (OTZ). Wie Erde und Mars um die Sonne, so kreisen in der neuen Hochvakuum-Beschichtungsanlage der mso jena GmbH Siliziumscheiben um eine zentrale und gleichzeitig um die eigene Achse. Viele Runden dreht sich dieses Karussell, denn bis zu zehn Stunden dauert das Aufdampfen hauchdünner Schichten auf Glas, Kunststoff oder Siliziumträger, die dadurch neue optische Eigenschaften bekommen. "Zwar sind die einzelnen Schichten nur wenige Mikrometer dünn, jedoch kommt es auf eine konstante Schichtdicke an", erklärt Geschäftsführer Dr. Stefan Jakobs.

Denn die optischen Komponenten, die bei mso bearbeitet werden, müssen in High Tech Mikroskopen in der Medizin oder als Filter in Weltraumkameras perfekt funktionieren. Um bei der Produktion solcher optischen Elemente höchste Qualitätsansprüche zu erfüllen, hat das Jenaer Unternehmen in die neue Bedampfungsanlage, die gestern offiziell in Betrieb ging, rund eine Million Eure investiert. "Diese Investition gestattet uns künftig auch die Bearbeitung von Wafern mit 200 Millimetern Durchmesser, erklärte Jakobs. Bisher war bei 100 Millimetern Schluss. In der Halbleiterindustrie geht der Trend jedoch zu immer größeren Scheiben, auf denen immer mehr Mikrochips platziert werden können.

Das Jenaer Unternehmen zieht hier mit, wie auch die für 2007 geplante Einrichtung eines neuen Reinraumes und dessen Ausstattung mit einer Photolithografieanlage beweisen. "Wir werden dann nicht nur optische Schichten flächig erzeugen, sondern diese, auch in feinsten Mikrostrukturen aufbringen können", beschreibt Jakobs das Vorhaben. Damit erweitere sich das Fertigungsspektrum des Unternehmens erheblich. Neue Kunden könnten auch gewonnen werden, weil sich mit den Neuanschaffungen die Fertigungskapazität um ein Drittel erweitere.

Im laufenden Jahr wollen die 20 Mitarbeiter von mso einen Umsatz von über zwei Millionen Euro und damit ein Plus von zehn Prozent zum Vorjahr erreichen. "Mehr war nicht drin, denn die Kapazitäten waren im Zweischichtbetrieb ziemlich ausgelastet". Lieferte die 1998 aus dem Fraunhofer Institut ausgegründete Firma in den Anfangsjahren vor allem an Unternehmen in der Region wie Carl Zeiss, so wird heute ein Drittel des Umsatzes in Übersee erwirtschaftet.