Filter-on-chip

 
  • zur Modifikation der spektralen Response von Si-Photodioden oder anderen Halbleiter-Photoempfängern
  • Bond-Pads bleiben frei von Beschichtung
  • auch als Filter-Array
  • Prozessierung von 2 bis 8 Zoll Wafern
 
Beispiel: Mit Interferenzfiltern beschichtete Flächen innerhalb der Chip-Struktur
 
Example filter-on-chip   Dia-Str1
 
 
 
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